产品介绍在线浓度光谱分析仪概述：
CYS-E电子级光谱浓度仪系列产品采用分体式设计，主要由浓度传感器和多功能主机组成，采用光谱连续扫描方式，通过传感器采集介质的光谱图像，多功能主机内置建模、分析、显示和信号输出等功能，适用于泛半导体行业湿电子化学品的浓度检测。
传感器采用超纯PFA/PTFE流通池结构结合大面积蓝宝石光学棱镜，通过长期技术积累和攻关研发，解决了半导体行业湿电子化学品浓度在线测控类产品的“卡脖子"问题。
在线浓度光谱分析仪特点：
高精度，SEMI G5级，耐高温，长寿命光源，光强自动调节。
应用领域：
氧化工艺：硫酸/双氧水、氢氟suan、氢氧化铵/双氧水/水、异丙醇等浓度分析；
蚀刻工艺：氢氟suan/甲氧基甲醇、氢氟suan、硝酸、硫酸、氟化铵、盐酸、乙酸、磷酸等浓度分析；
剥离工艺：抗蚀剂剥离液、聚合物去除化学溶液、低浓度氢氟suan/稀硫酸/过氧hua氢、低浓度氢氟suan/盐酸/氨水等浓度分析；
镀铜及平整化工艺：低浓度硫酸、双氧水，低浓度氢氟suan中的溶解氧、稀硫酸/过氧hua氢、盐酸/氨水等浓度分析。
技术参数/Technical sheet | |
测量项目 | 吸光度、浓度、温度 |
测量范围 | 最小量程：0 至 0.05 CU 最大量程：0 至 3.0CU 最小量程：0 至 10ppm 最大量程：0 至 99% |
光程范围 | 1 至 50mm（可定制） |
波长范围 | 200 至 2500nm |
重复精度 | ＜±0.5%，与量程有关 |
光 源 | 氙灯或钨灯 光源寿命≥30000小时 |
测量时间 | 5 至 60秒 |
环境温度 | -20℃ 至 +50℃ |
过程温度 | -30℃ 至 +150℃（特殊温度可定制） |
光学窗口 | 光学级蓝宝石 |
关键材质 | 触液面材质：超纯PTFE、PFA；外壳：不锈钢 |
输入电源 | DC 24V 或 AC 220V |
信号输出 | DC 4 至 20mA；RS485；2 至 4 路开关量信号输出 |
防爆等级 | 传感器：本安型ExiaIICT6Ga |
防护等级 | IP65 |
工艺压力 | ≤1.0 MPa (更高耐压需要定制) |
过程连接 | 3/4英寸管路安装 |
标定校准 | 内置在线建模软件，根据理化数据标定校准 |
产品尺寸
CYS-E电子级光谱浓度仪产品尺寸
多功能主机尺寸
安装方式
旁路管道安装方式
储罐、液槽循环管道安装方式
